P18.XY300压电扫描台典型应用领域

2020年08月24日 19:42:55 人气: 1344 来源: 哈尔滨芯明天科技有限公司

图像处理与稳定 • 扫描显微

• 干涉/计量 • 表面检测

• 半导体测量 • 光学计量

应用实例-纳米光刻

在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动，从而优化镜片读取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻实验。

特性

• 大位移370μm

• 大承载3.5kg

• 通孔直径：Ø35mm

• 闭环重复定位精度高 • 响应速度快

1~3维扫描台

P18系列压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式，可以满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。

大位移、大承载、高刚度、高频响

P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动，可以实现大370μm的扫描范围，运动直线性好，可选择闭环版本获得优异的线性度与重复定位精度。

P18采用*的结构设计，具有大刚度、大出力、大承载等特点，大承载达3.5kg，空载谐振频率达600Hz，配套芯明天大功率控制器响应时间可达5ms，是精密加工、半导体制造、扫描显微等应用。

关键词：压电扫描台

全年征稿/资讯合作 联系邮箱：ybzhan@qq.com

版权与免责声明: 1、凡本网注明"来源：仪表网"的所有作品，版权均属于仪表网，未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明"来源：仪表网"。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。; 2、本网转载并注明自其它来源的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品来源，并自负版权等法律责任。; 3、如涉及作品内容、版权等问题，请在作品发表之日起一周内与本网联系，否则视为放弃相关权利。; 4、合作、投稿、转载授权等相关事宜，请联系本网。

企业推荐

产品推荐

企业新闻